通过自动化硬件控制与智能软件分析，实现对样品的快速定位、辐照、能谱采集及数据可视化。系统通过高精度四维位移台、共轴显微镜头、SDD能谱仪及CCD相机的协同工作，完成样品表面的自动化遍历扫描，并生成Mapping图以直观展示能谱数据与位置信息。
X射线信号二维扫描成像系统
主要技术参数指标：
- 实现成像自动判断；
- XY轴定位精度：XY轴≤1μm，行程≥ 100mm
- φ轴定位精度：≤0.1°，摆角± 14°
- 自动生成彩色Mapping图，颜色与能量值有关
主要技术参数指标：
